فایل PowerPoint (اسلاید ها) طراحي و شبيه سازي سنسور فشار تشديدي ميکروالکترومکانيکي تک غشايي با تيرتوپر

    —         —    

ارتباط با ما     —     لیست پایان‌نامه‌ها

... دانلود ...

بخشی از متن فایل PowerPoint (اسلاید ها) طراحي و شبيه سازي سنسور فشار تشديدي ميکروالکترومکانيکي تک غشايي با تيرتوپر :


سال انتشار : 1395

نام کنفرانس یا همایش : دومين کنفرانس ملي پژوهش هاي نوين در مهندسي برق

تعداد صفحات :13

چکیده مقاله:

در این مقاله یک سنسور فشار تشدیدی با دو مد ارتعاشی طولی و موجی گزارش میشود. این سنسور از جنس سیلیکون بوده و براساس تکنولوژی MEMS طراحی شده است و در دو مد طولی و موجی دارای فرکانس تشدید میباشد. با اعمال فشار به ساختار، فرکانس تشدید آن تغییر میکند. مد موجی به فشار حساس بوده ولی مد طولی در برابر اعمال فشار از تغییر فرکانس تشدید کمتری برخودار است. ابعاد کلی ساختار m 20 × m 20 × m 400 و ابعاد غشاء حساس به فشار m 20 × m 2 × m 300 در نظر گرفته شده است. فرکانس ارتعاش مد موجی سی و نهم در غشاء برابر با MHz 122 و فرکانس ارتعاش مد طولی ششم برابر با MHz 120 بوده و جابهجایی فرکانسی مد موجی MHz 3937/2 و برای مد حجمی این جابه جایی برابر MHz 0334/0 میباشد. این سنسور در محیط نرمافزار ANSYS طراحی و شبیه سازی شده است.

لینک کمکی